11关于推动MEMS硅电容压力传感器产业发展瓶颈的建议-2024.6.17VIP专享

关于推动MEMS硅电容压力传感器产业发展瓶颈的建议据滨州市政协委员、山东昊润自动化技术有限公司董事长李泽芳反映：MEMS硅电容压力传感器其基本原理是通过硅基材料上的微型结构来感应外界压力变化，并利用电容效应将这些变化转换为电信号。这种传感器广泛应用于工业、医疗、汽车、消费电子等领域，用于测量气体或液体的压力，具有高精度、高灵敏度和小体积等优点。全球MEMS传感器产业链主要集中在北美、欧洲和日本地区，其中美国、德国和日本三国占据了全球传感器产业链的主导地位。尽管中央及地方政府高度重视智能传感器产业的发展，并出台了一系列相关政策以推动这一领域的发展，但国产传感器在测量精度、稳定性和可靠性方面与国外产品仍有较大差距，导致其严重依赖进口，从而对国家数据安全存在潜在隐患。‌一是“进口卡脖子”问题。高端MEMS硅电容传感器的核心技术主要集中在美国、欧洲少数发达国家手中，是我国制造7纳米及以下先进芯片的主要障碍。受到美国的压力，荷兰政府从今年1月1日开始停止向中国出口深紫外浸没光刻机，在一定程度上构成了“进口卡脖子”问题。二是对国家数据安全有潜在影响。2023年我国中高端传感器进口占比达80%，传感器芯片进口更是高达90%。由于芯片出口国因政治因素限制，进口芯片从一定程度上存在窃取中国的商业、泄漏国家数据等风险。三是技术研发投入不足、人才短缺。MEMS硅电容传感器作为一项高端技术产品，其研发需要大量的资金和技术支持。但受大环境影响，大多生产企业盈利能力相对较低，很难需要投入更多可持续的人才支持和研发经费。此外，硅电容传感器产业人才储备不足，制约了产业的发...